上海新阳：公司ArF干法光刻胶产品尚在客户认证中

来源：投资者互动平台

5月9日，2022年度网上业绩说明会在全景网举行。有投资者提问：请问公司KrF胶什么时候量产，ArF胶进展如何？

上海新阳董事长王福祥回复：公司开发的KrF光刻胶目前已有多型号产品实现小批量、持续销售，随着客户对光刻胶产品测试验证通过的增加，公司KrF光刻胶产品的销售会持续增加。ArF干法胶尚在客户认证阶段，与客户工艺及不同应用领域需求匹配调试当中。

另外有投资者提问，年报显示电子化学材料配套设备21年营收7008万，22年营收减少至5329万。公司配套设备产品包括半导体封装引线脚表面处理配套电镀、清洗设备和先进封装制程用电镀、清洗设备。而盛美上海主营的半导体清洗设备21年营收10.56亿，22年20.78亿营收翻倍。请问：上海新阳半导体配套设备营收下滑的原因？

上海新阳董秘：尊敬的投资者：你好！公司配套设备销售主要集中在半导体封装引线脚表面处理配套电镀、清洗设备。22年受外部环境影响，停产近3个月，零部件供应商的交货周期也延长很多，对2022年设备品销售产生了影响。

还有投资者提问：“卡脖子”的关键原材料项目——非羟胺项目报告期内取得重大技术突破，已开发出满足晶圆制造企业要求的无羟胺干法蚀刻后清洗液产品。目前该产品已通过国内主流晶圆制造客户的验证，标志着我司对铝制程清洗技术的理解与研发能力已走在世界前列。请介绍下无羟胺干法蚀刻后清洗液产品有哪些技术优势。

新阳董秘表示公司开发的芯片铝制程无羟胺干法蚀刻后清洗液技术，突破了几十年来严重依赖羟胺这样一种全球只有一家生产供应商的困局，在全球铝制程干法刻蚀后清洗液率先实现了突破。同时，该技术也具有清洗效果优异，介质兼容性好，工艺窗口宽，使用寿命长等特点。未来将成为替代现有芯片铝制程清洗液市场很有发展潜力的一款产品。

公开资料显示，上海新阳始终坚持自主研发，持续进行技术创新，经过二十多年发展，主要形成两大类业务，一类为集成电路制造及先进封装用关键工艺材料及配套设备的研发、生产、销售和服务，并为客户提供整体化解决方案。另一类为环保型、功能性涂料的研发、生产及相关服务业务，并为客户提供专业的整体涂装业务解决方案。